国家/地区 中国(4) 日本(4) 美国(4) 德国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C026/00(5)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2021(2) 
专利权人