国家/地区 | 中国(4) 日本(4) 美国(4) 德国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C026/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
PENG N, WEN Y, ZHANG Z, WANG D, SHANG W
YE N, KUBO T, SHIMIZU T
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
TAKAHASHI M, SAITO Y, MOMO J, MORIWAKA T, KUSUMOTO N, MORIWAKA K, YONEDA Y