国家/地区 世界知识产权组织(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5)
IPC B32B009/00(2) B32B015/20(2) B82Y030/00(2)
C23C016/26(2) C23C028/00(2) C25D003/38(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年 2021(2) 
专利权人