国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C018/16(3)
发明人 JANG B Z(2) LIN Y(2) ZHAMU A(2)
公开年 2019(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 NANOTEK INST.(2)

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J