国家/地区 中国(5) 美国(3) 韩国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC C23C016/26(5) C01B031/04(2) C23C014/30(2)
C23C014/34(2) C23C016/01(2) C23C016/02(2)
C23C016/44(2) C25D013/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(3)  2016(3) 
专利权人