国家/地区 台湾(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC H01L021/02(3) B01J037/02(2) B05D005/12(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C23C016/56(2) C25D011/02(2)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人