国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C25(5) H01(3)
IPC小类 C23C(5)
IPC C23C014/35(5)
发明人 ZHU Z(2)
公开年 2023(5)
申请年 2022(4) 
专利权人