国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5) C25(5) C01(4)
H01(3) B05(2) C23(2)
IPC小类 B82Y(5)
IPC C01B031/02(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
B05D005/12(2) B82Y099/00(2) C01B031/04(2)
C23C028/00(2) C25D013/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2011(5)
申请年 2011(4) 
专利权人

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J