国家/地区 美国(4) 中国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4) C23(4) C30(4)
B82(3)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y040/00(3) C01B032/186(3) C23C016/26(3)
C01B031/04(2) C01B032/182(2) C30B029/02(2)
发明人 XIE X(4) DING G(3) WANG H(3)
JIANG M(2) TANG S(2) XIE H(2)
公开年 2012(2)
申请年
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)