国家/地区 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) C30(3) C01(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/02(3)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3) 
专利权人