国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/04(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H