国家/地区 美国(4) 中国(3) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/04(4)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人