国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2016(6)
申请年 2015(3)  2016(2) 
专利权人