国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
VEERASAMY V S, VEERASAMY V