国家/地区 美国(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 印度(2) 日本(2) 俄罗斯(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2013(2) 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人