国家/地区 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C01B032/15(2) C01B032/18(2) C01B032/182(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2015(3)
专利权人