国家/地区 | 中国(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C014/18(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
PAN M, QIU W, HU J, LI P, PENG J, HU Y, ZHANG Q
YOON S, PARK B, YOON S G, PARK B J