国家/地区 | 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C016/32(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W