国家/地区 韩国(2) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C30(4)
IPC小类 C30B(4)
IPC C30B029/40(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2019(4)
专利权人