国家/地区 | 美国(5) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C30B(5)![]() |
IPC |
C01B031/04(4)
C30B029/02(4)
C23C016/26(3)
C23C016/46(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2015(4) |
申请年 |
2014(5)![]() |
专利权人 |
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
IACOPI F, AHMED M, CUNNING B V
SINGH G, DAVID L