国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC C01B031/04(4) C30B029/02(4) C23C016/26(3)
C23C016/46(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2014(5)
专利权人