国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C014/06(3) C30B025/18(3) H01L021/02(3)
C23C014/35(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B029/40(2) H01L021/205(2)
发明人 HAO Y(3) NING J(3) WANG D(3)
ZHANG J(3)
公开年
申请年 2012(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(4)