国家/地区 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC B82Y040/00(3) B32B009/00(2) B82Y030/00(2)
C01B031/04(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2014(2)
申请年 2013(3)
专利权人