国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)![]() |
IPC |
H01L021/205(3)
C23C016/26(2)
C30B025/18(2)
H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L029/16(2) H01L033/00(2) |
发明人 |
FAN F Y(2)
FAN S(2)
GI Y(2)
WEI Y(2) |
公开年 | 2013(3) |
申请年 |
2012(4)![]() |
专利权人 |
HON HAI PREC.(2)
HONGFUJIN PR.(2)
UNIV TSINGHU.(2)
UNIV XIDIAN(2)
|
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
ZHANG J, HAN D, NING J, HAO Y, CHAI Z, WANG D, YAN Y