国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC H01L021/205(3) C23C016/26(2) C30B025/18(2)
H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L029/16(2)
H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(4)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2) UNIV XIDIAN(2)