国家/地区
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(3)
申请年 2021(3)
专利权人