国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B029/02(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3) 
专利权人