国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B029/02(2)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2020(3) 
专利权人