国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C01B032/186(3) C30B029/02(3) C23C016/02(2)
C23C016/04(2) C23C016/26(2) C30B025/02(2)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(5)
专利权人