国家/地区 |
台湾(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B82(4)
C30(4)
C01(3)
H01(3) C23(2) |
IPC小类 |
C30B(4)![]() |
IPC |
C30B029/02(3)
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C30B025/18(2) C30B029/64(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L029/06(2) |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) 2013(2) |
申请年 |
2012(4)![]() |
专利权人 |
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, YOSHIHIRO C, CHIBA G