国家/地区 美国(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C30(21) C01(11) H01(11)
C23(9) B01(5) B82(3)
C04(3) B05(2) C07(2)
C09(2) C22(2)
IPC小类 C30B(21)
IPC C30B029/02(6) C30B025/18(5) H01L021/02(5)
C01B032/186(4) C30B029/40(4) C30B029/60(4)
C23C016/02(3) C30B025/16(3) C30B029/04(3)
C30B029/38(3) B01J003/06(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/184(2) C01B032/192(2)
发明人 FIMLAND B M(2) MUNSHI M(2) WEMAN H(2)
公开年 2021(21)
申请年 2020(11)  2021(7)  2019(2) 
专利权人 CRAYONANO AS(2)