国家/地区 | 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)
G01(3)
H01(3)
B82(2) |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C01B031/02(2)
G01J001/02(2)
G01J005/02(2)
H01L029/06(2) H01L051/00(2) |
发明人 | |
公开年 |
2015(3)![]() |
申请年 | 2014(2) |
专利权人 |
SPIGONE E, HAQUE S M, KIVIOJA J
CHOW J R, KETOLA K S, LA KOMSKI D M, TOWNSEND C W, ELIAS W E, MARBLE S J, LAKOMSKI D M