国家/地区 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) G01(3) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(2) G01J001/02(2) G01J005/02(2)
H01L029/06(2) H01L051/00(2)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2014(2) 
专利权人