国家/地区 美国(4)
IPC部 G(4) C(3) H(2)
IPC大类 G01(4) C09(2) H01(2)
IPC小类 G01J(4)
IPC H01L027/146(2)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2021(4)
专利权人