国家/地区 中国(5)
IPC部 G(5) H(3)
IPC大类 G01(5) H01(3)
IPC小类 G01J(5)
IPC G01J005/20(3) G01J005/08(2) H01L031/09(2)
发明人 DU C(2) FENG S(2) SHI H(2)
TANG L(2) WEI X(2) YANG J(2)
公开年 2016(4)
申请年 2015(5)
专利权人 CHINESE ACAD.(2)