国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 G01(4) B82(2) H01(2)
IPC小类 G01J(4)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) G01J005/00(2)
H01L031/09(2)
发明人
公开年 2018(4)
申请年 2018(3) 
专利权人