国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
G01(4)
B82(2)
H01(2)
|
IPC小类 |
G01J(4)![]() |
IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
G01J005/00(2)
H01L031/09(2) |
发明人 | |
公开年 |
2018(4)![]() |
申请年 | 2018(3) |
专利权人 |
CHEN A, SHI Y, ZHANG Y, XIANG J, MA Y, WANG X
WANG P, WANG J, SUN F, CHEN W, WANG H