国家/地区 中国(141)
IPC部 G(141)
IPC大类 G01(141) H01(58) B82(11)
G02(9) C01(7) C08(4)
C09(4) H04(4) G05(3)
H05(3) B01(2) B32(2)
B81(2) C07(2) D06(2)
IPC小类 G01J(141)
IPC G01J001/42(41) G01J005/20(23) H01L031/09(15)
H01L031/18(15) G01J005/00(13) H01L031/028(11)
H01L027/146(10) G01J011/00(9) G01J001/02(8)
B82Y030/00(7) G01J001/04(7) G01J001/44(7)
G01J005/24(7) G01J009/00(7) H01L031/0232(7)
发明人 WANG Y(12) INVENTOR U(8) DI G(7)
PAN H(7) SHEN J(7) WU P(7)
FENG S(6) DU C(5) SHI H(5)
WANG C(5) WEI X(5) YANG J(5)
CHEN H(4) HU H(4) LIU C(4)
公开年 2021(41) 2020(21) 2018(16) 2022(16) 2017(13) 2016(11) 2023(8) 2019(5) 2013(4) 2015(3)
申请年 2021(30)  2020(27)  2022(17)  2017(14)  2019(14)  2016(12)  2018(10)  2015(5)  2011(3)  2014(3)  2012(2)  2013(2)  2023(2) 
专利权人 BEIJING NORT.(7) CHINESE ACAD.(5) JIANGSU XINC.(4) MITSUBISHI E.(4)
NOKIA CORP(4) NOKIA TECHNO.(4) SHANGHAI TEC.(4) ZHONGSHAN KE.(4)
JINHUA FUAN .(3) UNIV CHINA E.(3) UNIV HUBEI S.(3) INST SEMICON.(2)
SAMSUNG ELEC.(2) SHANGHAI INT.(2) SUZHOU INST .(2) UNIV HARBIN .(2)
UNIV HEFEI T.(2) UNIV JINAN(2) UNIV NAT DEF.(2) UNIV NORTH C.(2)