| 国家/地区 | 美国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
G(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
|
| IPC |
C23C016/26(4)
|
| 发明人 | LEE K(2) WANG Y(2) |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2013(2) 2015(2) |
| 专利权人 | SHENZHEN CHI.(2) |
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
