国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C23C016/26(2) C23C016/455(2) G02B006/02(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01S003/067(2)
发明人
公开年
申请年 2015(3) 
专利权人