国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人
公开年 2012(2) 2013(2)
申请年 2011(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)