国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(5)
B82(4) B32(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/01(5)
发明人 CHOI J(2)
公开年 2012(2)
申请年 2011(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)