国家/地区 美国(3)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC H01B001/04(3) C23C016/26(2) H01B001/02(2)
H01B001/08(2)
发明人
公开年 2017(4)
申请年 2016(3) 
专利权人