国家/地区 法国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC H01B001/04(7) B82Y030/00(4) B82Y040/00(4)
C01B031/02(3) C01B031/04(3) B82B003/00(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2) H01L029/16(2)
发明人 PHAMHUU C(2)
公开年
申请年
专利权人 CENT NAT REC.(3) COMMISSARIAT.(3) UNIV STRASBO.(2)