国家/地区 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01J(3)
IPC H01J009/02(3)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人