国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01J(3)
IPC H01J009/02(3)
发明人 GO H(2) GO H B(2) LEE C J(2)
LEE S H(2)
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人 UNIV KOREA R.(2)