国家/地区 中国(5)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2) H01L(2)
IPC
发明人 LI X(6)
公开年 2010(6)
申请年 2009(5) 
专利权人 UNIV TSINGHU.(3)