| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 | C(4) H(3) |
| IPC大类 |
C01(3)
H01(3)
C23(2)
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| IPC小类 |
C01B(3)
C23C(2)
H01L(2)
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| IPC | |
| 发明人 |
LI X(6)
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| 公开年 |
2010(6)
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| 申请年 | 2009(5) |
| 专利权人 | UNIV TSINGHU.(3) |
LI C, ZHU H, WEI J, WANG K, WU D, LI X
JIA Y, LI C, LI X, LI Z, WANG K, WEI J, WU D, ZHU H
DU K, HUANG J, LI X, ZHANG Y
JIN L, LI L, LI X, WANG G
LI C, LI X, WANG K, WEI J, WU D, ZHU H
