国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7) B82(5) H01(5)
B05(3) B01(2) B32(2)
C07(2) C23(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/04(6) B82Y030/00(5) B82Y040/00(5)
C01B031/02(5) B01J019/08(2) B32B009/00(2)
C01B031/00(2) C01B032/184(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2) H01L051/40(2)
发明人
公开年 2010(7)
申请年 2010(7)
专利权人