| 国家/地区 |
德国(4)
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| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 |
H01(3)
C01(2)
C08(2)
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| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | C01B031/04(2) H01L029/06(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2012(4)
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| 申请年 |
2012(4)
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| 专利权人 |
LEE T, HAN T, AHN J, LEE Y, WOO S, LEE T W, HAN T H, AHN J H, YI Y B, LEE Y B, WOO S H, LI R
ROETKER M S, LOPEZ F J, TALLMANN K B, HERKO J H, MARTIN D W, GRIFFIN S J, KANUNGO M, TONG Y, TALLMAN K B
SCHULZE H, RUPP R, SCHULTZE H, RUP R
