国家/地区 德国(4)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2) C08(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L029/06(2)
发明人
公开年 2012(4)
申请年 2012(4)
专利权人