国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6) H(3)
IPC大类 C01(5) H01(3)
IPC小类 C01B(5) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) H01L021/02(2)
发明人 ZHOU M(7)
公开年 2012(7)
申请年 2012(7)
专利权人 UNIV PEKING(2)