国家/地区 美国(6)
IPC部 H(5) B(4) C(3)
IPC大类 H01(5) B82(4) C01(3)
C23(3)
IPC小类 H01L(5) B82Y(4) C01B(3)
C23C(3) H01B(2)
IPC H01L029/78(4) C01B031/02(3) C23C016/26(3)
H01L021/336(3) B82Y040/00(2) B82Y099/00(2)
H01B001/04(2) H01L029/786(2)
发明人 CHO B J(3)
公开年 2012(6)
申请年 2011(3)  2012(3) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(6)