国家/地区 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) C23C(3)
H01L(3) B32B(2)
IPC B82Y030/00(3)
发明人
公开年 2013(3)
申请年
专利权人