国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) B05(2) B82(2)
C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2) H01L029/775(2) H01L029/778(2)
发明人 BOL A A(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(2) 
专利权人 INT BUSINESS.(3) BOL A A(2)