国家/地区 日本(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B032/15(2) C01B032/18(2) C01B032/182(2)
H01L021/28(2) H01L029/06(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2) H01L051/40(2)
发明人
公开年 2014(3)
申请年 2013(3)
专利权人 FUJITSU LTD(3)