| 国家/地区 | 日本(3) |
| IPC部 |
H(3)
B(2)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
C01B(2)
|
| IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
C01B032/15(2) C01B032/18(2) C01B032/182(2) H01L021/28(2) H01L029/06(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2014(3)
|
| 申请年 |
2013(3)
|
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(3)
|
