国家/地区 美国(4)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L029/06(3) C01B031/02(2) C01B032/182(2)
H01L021/3205(2) H01L021/768(2) H01L023/532(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2)
发明人 SATO S(3)
公开年 2014(4)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)