国家/地区 韩国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人 KIM Y H(3)
公开年 2014(3)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA INST S.(2)